歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網(wǎng)站！歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網(wǎng)站！
當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 其他前道工藝設備 > 8 氧化設備、退火設備 > Sitara TA230A12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)
簡要描述：Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。
產(chǎn)品型號：Sitara TA230A廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2025-06-05訪 問 量： 482產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
1. 產(chǎn)品概述
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。
2. 設備用途/原理
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝，高精度溫度控制，提供優(yōu)異工藝，低成本，高產(chǎn)能。
3. 設備特點
晶圓尺寸 12 英寸，適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域 科研、集成電路。此外，12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)的應用還涉及到泛半導體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務技術服務等領域，展示了其在半導體制造中的重要角色。這種系統(tǒng)的發(fā)展和應用，對于推動半導體技術的進步和促進相關產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。?
產(chǎn)品咨詢
網(wǎng)站首頁